| Allgemeine Eigenschaften | |
| Messung | Mittels eines 20 um-Pitches (0,0008 Zoll) Messglas. |
| Wärmeausdehnungskoeffizient von Glas | 8 ppm/K |
| Genauigkeit | ±5 µm (±0,0002 Zoll) ±3 µm (±0,00012 Zoll) |
| Höchstgeschwindigkeit | 120 m/min |
| Maximale Vibration | 20 g |
| Beweglicher Schub | <5N |
| Betriebstemperatur | 0°...50℃ |
| Lagertemperatur | `-20°...70℃ |
| Gewicht | 0,25 kg + 2,25 kg/m |
| Relative Luftfeuchtigkeit | 20…70℃ |
| Schutz | IP 53 (Standard) IP 64 (DIN 40050) mit Druckbeaufschlagung |